最新资讯!ASML光刻机出口管制解除,高端DUV光刻机支持7nm制程
荷兰半导体制造商ASML的光刻机近日备受关注。由于该公司的光刻机技术非常先进,可制造出最新一代的芯片,成为全球半导体行业的重要供应商。然而,由于技术含量过高,加上部分产品存在安全隐患,美国政府曾对ASML实行出口管制。
不过,最近ASML官方表示,新的出口管制措施只涉及“最先进”的浸润式光刻系统,即TWINSCANNXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统,而非全部浸润式光刻系统。截至目前,ASML公司还未收到有关“最先进”具体定义的信息。而从资本市场日会议上定义的“关键的浸润式光刻系统”来看,即指TWINSCANNXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统。
浸没式光刻机,是目前用于制造16nm至7nm先进制程芯片的关键设备,也被广泛应用于45nm及以下成熟制程当中。ASML公司官网信息显示,其主流的DUV光刻机产品共有三款设备,其中2000i和2050i两款是公司所指的产品。值得一提的是,公司主打的TWINSCAN NXT:1980Di在分辨率方面可以大于等于38nm,理论上仍可以达到7nm。虽然成本更高,良率也可能会有损失,但晶圆厂仍可以用这款光刻机生产14nm及以上工艺的芯片。
ASML光刻机可以出口给其他国家,这对于全球半导体产业而言是一大利好。ASML公司的先进光刻机技术有助于推动半导体技术的发展,促进产业的创新和发展。未来,ASML公司的技术还将不断升级和发展,成为半导体行业的重要推动力量。